Институт физики высоких технологий создан в Томском политехе 1 июня 2010 г. на базе научно-исследовательских лабораторий НИИ высоких напряжений и кафедр электрофизического, машиностроительного, химико-технологического факультетов и факультета естественных наук и математики. Возраст большинства из них уже перевалил за 100 лет.